Το FIB-SEM είναι μια τεχνική που συνδυάζει την απεικόνιση υψηλής ανάλυσης ενός ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σάρωσης (SEM) με την ακριβή τροποποίηση δείγματος μιας εστιασμένης δέσμης ιόντων (FIB). Το FIB-SEM μπορεί να χρησιμοποιηθεί για μια ποικιλία εφαρμογών, όπως:

– Ανάλυση, εναπόθεση και αφαίρεση υλικών ανά τοποθεσία, ειδικά στη βιομηχανία ημιαγωγών και στην επιστήμη των υλικών1.
– Προετοιμασία υψηλής ποιότητας και λεπτών δειγμάτων για ηλεκτρονική μικροσκοπία μετάδοσης (TEM) από μεγάλη γκάμα υλικών2.
– Υποεπιφανειακός και τρισδιάστατος χαρακτηρισμός δομών με διαδοχική άλεση FIB και απεικόνιση SEM2.
– Νανο-πρωτοτυποποίηση και διαμόρφωση συσκευών με χάραξη και εναπόθεση FIB2.

Το FIB-SEM είναι ένα ισχυρό και ευέλικτο εργαλείο που μπορεί να αποκαλύψει πληροφορίες νανοκλίμακας και να επιτρέψει νέα πειράματα για πολλά επιστημονικά και μηχανικά πεδία.